充氮充氦氟油检漏平台 返回列表页

商品描述：

充氮充氦氟油检漏平台是对半导体器件进行密封性、可靠性粗检漏的专用设备。这是密封电子器件背压法氦质谱检漏的配套设备，由两部分组成。一部分是被检密封器件压氮。二部分是对被检密封器件压氟油。

这套设备有手动和PLC自动控制两种类型；有液面高度自动控制和过程状态显示‘压氦和压氟油分开，各自独立进行，灵活且互不干扰；关键零部件，如阀门、管道、法兰、压力罐和储油罐等，均用不锈钢制造。滤油罐可滤除5μm的固体颗粒，确保氟油清洁。

该设备与氦质谱检漏仪配合，能够完成GJB36A-96、GJB548-96A和GJB128A-97标准中规定的对点子和半导体器件的检漏。

主要技术指标：

1.压力表： 数字式

2.真空度： ≤50Pa

3.充氦压力： 0.2～1.0Mpa，可调

4.指示液温度（FC43）温度：（125±5）℃

5.保压时间 ：1～10h，可调