当前位置：上海弘燊真空科技发展有限公司>>分子泵>> 200 1200型复合分子泵
应用领域： | 光学玻璃镀膜工业；薄膜工艺；真空冶金；照明工业排气 |
型号： | 200/1200 |
规格： | 200/1200 |
200/1200型分子泵技术参数表
型号 | 200/1200 | |
抽气速率（l/s） | 1200L/S | |
压缩比N2 | >109 | |
压缩比H2 | >8×104 | |
极限压强(Pa) | <2×10-8 | <1×10-7 |
高真空法兰 | LF200 | CF200 |
排气口法兰 | KF40 | |
启动加速时（min） | <5min | |
电机转速（n/min） | 24000n/min | |
小不平衡（mg） | 15mg | |
建议采用前级泵 | 机械泵8～15L/S | |
充油量（ml） | / | |
安装方式 | 垂直±5° | |
冷却方式 | 水冷或风冷 | |
冷却水温度 | <20℃ | |
环境使用温度（℃） | 风冷<32℃ 水冷<40℃ | |
泵体烘烤温度（℃） | <100℃ | |
泵重量（kg） | 36kg | |
外形尺寸（mm） | Φ320×428 | |
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