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特点及用途:PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,...
细节展示整机工作情况整个管子辉光情况高真空下辉光情况 PECVD系统 微型PECVD系统
我公司研制的滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PEC...
设备简介我公司研制的滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传...
产品简介:本设备主要针对实验石墨烯生长和制备使用,同时该设备可以用于碳纳米管的生长
产品简介:本设备主要针对实验石墨烯生长和制备使用,同时该设备可以用于碳纳米管的生长
设备简介:该设备为我司研发用于材料连续生长的专用设备
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