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实验级蒸镀机EV400A

实验级蒸镀机EV400A
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更新时间：2023-07-13 10:15:04浏览次数：73次

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产品简介
实验级蒸镀机EV400A

详情介绍

基本信息

项目

参数

备注

基板尺寸

100x100mm/25x25mm

根据基板定制

旋转速率

0-30 rpm

 

基板高度调节

0-150mm

 

设备整体尺寸

4600x620x2300mm

 

蒸发舟数量

10个

 

低温蒸发源

5-20cc  @400℃

 

高温蒸发源

5-40cc @1400℃

 

前级泵

20000L/min 干泵

可选配

主泵

1700 L/s 分子泵

可选配

本底真空度

9E-7 Torr

 

 

 

本系统可满足工艺过程验证有机及金属材料，满足研究过程中对于材料真空蒸镀的初期性能参数确认，并可满足两种材料共蒸。

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