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行业产品
当前位置:安徽贝意克设备技术有限公司>>镀膜设备>> 实验级蒸镀机EV200
产品型号
品 牌
厂商性质经销商
所 在 地合肥市
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更新时间:2023-07-13 10:16:47浏览次数:61次
方箱真空蒸发镀膜机
DM-200真空蒸发镀膜机
RIE280感应式反应刻蚀系统
DM250单、双靶磁控溅射仪
电子束、电阻蒸发系统
详情介绍
基本信息
项目
参数
备注
基板尺寸
100x100mm/25x25mm
根据基板定制
旋转速率
0-30 rpm
基板高度调节
0-150mm
设备整体尺寸
760x620x2100mm
蒸发舟数量
6个
低温蒸发源
5-10cc @400℃
高温蒸发源
5-10cc @1200℃
前级泵
6.2 m3/h 干泵
可选配
主泵
260 L/s 分子泵
本底真空度
9E-7 Torr
本系统可满足工艺过程验证有机及金属材料,满足研究过程中对于材料真空蒸镀的初期性能参数确认,并可满足两种材料共蒸。
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