单工位大口径快速退火炉-安徽贝意克设备技术有限公司

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更新时间：2023-11-20 11:09:49浏览次数：132次

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设备特点：

该款设备是由单端封口小型红外滑轨炉、电机调速装置、高真空机组、进出气口及操作控制界面组成，内控热电偶用于控制RTP滑轨炉内的温度，伺服电机用于控制丝杆的转动速度达到精确控制炉管（样品）移除炉膛的速度，从而用于调节炉管（样品）的降温速度，与之相反可以得到较快的升温速率；出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取，进气口除用于通入保护气体或反应气体外，还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温，以此获得较高的降温速率。

结构与原理：

设备组成：单端封口小型红外滑轨炉、电机调速装置、高真空机组、流量控制系统及工控电脑操作系统。

1、单端封口小型红外滑轨炉：

该加热系统采用制造工艺，造型新颖结构合理，炉体炉管可实现自动分离，炉体上下两半设计，气动弹簧支撑结构让操作者可各角度自由打开，安全可靠。炉胆采用高密度纯氧化铝聚轻纤维材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高温保护涂层，除能够保持其能量的损耗，还能增强高温稳定性，可有效减少热能损耗。

该滑轨炉加热系统由红外灯管加热，采用内插热电偶控温的方式实时显示石英腔体内部温度，加热区长度为370mm，恒温区长度200mm，确保两个φ100*100mm的夹具可放置在恒温区内，为让样品在炉管内的中心位置，考虑石英置物架的高度，石英管管径综合考虑在210mm，恒温区200mm内的温场均匀性控制在±5℃，升温速率≤30℃/s, 整个石英腔体直接划出炉膛，样品降温过程可在通入一定量保护气体的条件下快速降温，平均降温速率可达到2℃/s，试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，在完成工艺的同时大大降低了间接污染试样的可能性。采用石英管堵维持炉内的温场均匀性及石英舱体内的洁净度。

2、电机调速装置：

伺服电机调速装置用于控制丝杆的转动速度，达到控制炉管部分的整体移动速度（含样件），以此调整快速升降温的目标速率，电机旋转速度实时显示并且精确可控，以获得精确的移动速度，满足降温时工艺参数要求。

3、主要参数

加热系统
供电电源	220V，50Hz
额定功率	10KW
石英管尺寸	Φ210*370mm（炉管直径可根据实际需要定制。）
炉膛材料	氧化铝、高温纤维制品
加热原件	电阻丝
控温精度	±5℃
热电偶类型	K型热电偶（内插）
控制方式	该系统人机界面+PLC控制，10寸液晶屏显，显示器可直接显示真空度、气体流量、热电偶温度、电机旋转速度等信息。
气路系统
标准量程（N₂)	1000sccm（可根据用户要求定制）
准确度	±1.5%
线性	±0.5～1.5%
重复精度	±0.2%
响应时间	气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围	0.1～0.5 MPa
压力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
工作环境温度	5~45高纯气体
真空系统
机械泵	抽气速率：4L/S 容油量：1.1L 电机功率：400W~ 极限压强：6×10^-2Pa
分子泵	抽气速率：100L/S 极限压强：1×10^-4Pa 启动时间：＜2min 额定转速：4300转/分冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时看，水冷。
分子泵控制器	电压：220V±22V 启动电流：≤7A 输入频率：47HZ—63HZ 输出功率：≤150W 加速电压：≤40V 加速时间：≤3min 频率（双速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ
复合真空计	测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）工作模式：手动/自动电阻单元参数规管型号：ZJ-52T电阻规测量范围：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa 有效范围：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa 控制范围：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa 电离单元参数规管型号：ZJ-27电离规可测范围：5.0Pa~1.0×10^-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa 规管除气方式：焦耳去气其他参数控制路数：4路控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆控制精度：±1% 采样时间：1S 电源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用环境温度：0℃~45℃ 湿度：≤85%
连接管路	采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10^-9Pa.m³/s