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| 欧莱迪升华仪BOF-6-130指标规格 | |||||
| 项目 | 组成系统部件 | 分项明细 | 品牌及规格 | 部件明细 | 规格参数 |
| 升华炉 | 设备主体系统 | 设备整体尺寸及布局 | 欧莱迪/定制型 | 设备外形布局 | L型 |
| 长度 | 长≤2700mm | ||||
| 宽度 | 宽≤1600mm | ||||
| 高度 | 高≤1800mm | ||||
| 部件顺序 | 石英外管-过滤网-主阀门-冷阱-分子泵 | ||||
| 石英管 | 太平洋/Φ1300*2500*5mm | 石英外管尺寸规格设计 | 外管直径1300mm,长度2500mm，厚度5mm | ||
| 石英外管连接方式 | 凹槽内嵌式，凹槽高度＞5mm（详见附图）远端接口带滑轨 | ||||
| 真空法兰及腔体 | 欧莱迪/定制型 | 真空腔体材质 | 亮面不锈钢钢管 ( SUS 304 ) | ||
| 保护系统 | 欧莱迪/定制型 | 过滤网 | 单层金属滤网 | ||
| 简易拆卸，易清洁保养 | |||||
| 冷阱 | 真空隔层式冷阱设计 | ||||
| 易拆、易清洁保养（手能伸入 冷阱 内） | |||||
| 不锈钢 / 内外均 亮面 抛光 | |||||
| 单体外径180-260mm | |||||
| 设备基座 | 欧莱迪/定制型 | 设备基座，机身材质 | 采用『方管骨架』基座，底部附活动轮及水平调整脚，亮面不锈钢作为台面 ( SUS 304 ) | ||
| 设备基座高度（加热炉以下） | 高度≤ 800mm | ||||
| 基座门板 | 易拆卸盖板，冷板喷塑 | ||||
| 高温炉系统 | 热场模块 | 阿尔塞（日本）/定制型 | 炉体 | 上下各6段，12点检测温度 | |
| 每段加热区长度设定=200+200+400+200+300+200mm | |||||
| 加热段之间隔断尺寸设定= 10mm | |||||
| 加热炉两侧外壳距离外管连接处＞100mm | |||||
| 温度 | 软件温控保护温=600°C， | ||||
| 设备硬件支持温度＞800°C | |||||
| 功率控制模块 | 主加热区：40A | ||||
| 升温程序模块 | 数据可输出，触控屏设置温度程序 | ||||
| 炉体制动系统 | 欧莱迪/定制型 | 炉体开关 | 电动缸开盖系统 （可寸动） | ||
| 人机触控开关 | |||||
| 实体控制开关 | |||||
| 散热系统 | 欧莱迪/定制型 | 散热风扇 | 耐高温材质 | ||
| 水电气要求 | / | 电 | 整机使用电源380V，整机功率小于22KVA | ||
| 水 | 分子泵冷却水，流量5L/min | ||||
| 气 | 气动阀，破真空皆用高纯N2，压力0.6Mpa | ||||
| 人机控制界面 | 人机硬件系统 | MCGS | 触碰式屏幕 | 10.4寸屏 | |
| 软件控制功能 | / | 功能实现 | 触摸屏可加屏幕锁，防止误触 | ||
| 整合设备各气动阀操作，各部件开关，和加热系统设置 | |||||
| 分自动模式与 手动模式 | |||||
| 真空 系统 | 真空系统 | 主泵 | 中科仪/FF250/1600G | 分子泵 | FF250/1600G， 抽速1600L/s |
| 高真空抽气管路 | 欧莱迪/定制型 | 主抽管路 | 抽真空端采用了主管直径250mm的分子泵直连，确保实验中高真空的需求，在直径直管中间加插板阀。 | ||
| 前级泵 | 鲍斯/BSV30 | 机械泵 | 抽速30m³/h | ||
| 低真空抽气管路 | 欧莱迪/定制型 | 旁抽管路 | 插板阀的两端加直径16mm细管旁抽支路，防止在初真空时抽速太大影响分子扩散的方向，导致材料不均匀。 | ||
| 真空度指标 | / | 低真空泵排气速率 | 主腔体20min内真空度低于2x10^-2torr | ||
| 高真空泵排气速率 | 开启分子泵后，40min内主腔体真空度低于5x10^-6torr | ||||
| 保压测试 | 到达极限真空度后（5x10^-6torr），关闭所有阀门，30min后低于2x10^-2torr | ||||
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