上海瞬渺光电技术有限公司
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可变形反射镜——ALPAO
变形镜，又称变形反射镜（DM），主要运用于各种自适应光学系统之中，主要用于校正波前畸变，它由很多驱动单元组合而成，每个驱动单元都有自己独立的控制器，在外加电压控制下，变形镜的镜面可以产生需要的形变量，从而对波前像差进行调制。变形镜是自适应光学系统中的重要部件之一。
ALPAO是从法国JosephFourier大学独立出来的公司，主要开发电磁场驱动的MEMS驱动器，到820 个驱动器，行程达80µm，表面质量<7nmRMS，采用目前世界上较*的抛光工艺，表面粗糙度<1nm，变形镜的响应时间只有500us，带宽可以达到2KHz。
ALPAO公司可变形镜
ALPAO公司MEMS变形镜结构紧凑、相较于波士顿、Imagine等其他的微变形反射镜具有波前调制量大低磁滞性<1%，高线性度>97%。相比于MEMS静电变形镜来说，电磁驱动变形镜相较于压电变形镜的优点在于其巨大的变形量，更高的调制精度。
主要特点：
调制量大：波前相位调制幅度超过80μm
稳定度高：+/-1% over 30s，<10nm RMS over hours
· 高动态范围 ：响应时间小于500μs
· 镀膜质量高： R>97% @500nm- 2.0µm
表面平整：表面粗糙度 <15Å RMS
亚纳米步长精度
低磁滞：磁滞误差小于1%
单通道相位调制幅度>5.0 µm PTV
法国ALPAO高速变形镜主要型号相关参数如下：
型 号 参 数 | DM69 | DM88 | DM97-08 | DM97-15 | DM241 | DM277 | DM468 | DM820 |
单通道口径 | 1.5mm | 2.5mm | 0.8mm | 1.5mm | 2.5mm | 1.5mm | ||
通道数 | 69 | 88 | 97 | 97 | 241 | 277 | 468 | 820 |
孔径 | 10.5mm | 20.0mm | 7.2mm | 13.5mm | 37.5mm | 24.5mm | 33.0mm | 45.0mm |
闭环系统镜面平整度 | 7.0nm RMS (no print through effects) | |||||||
形变量（PTV) | 60µm | 40µm | 80µm | 60µm | 40µm | 15µm | ||
聚焦/散光形变量（PTV） | 40µm | 30µm | 40µm | 40µm | 30µm | 10µm | ||
3x3形变量（PTV) | >25µm | >10µm | ||||||
响应时间（+/-10%) | 800μs | 1.6ms | 800μs | 1.6ms | 500μs | |||
带宽 | >750HZ | >400HZ | >750HZ | >400HZ | >2000HZ | |||
45°相位延迟频率 | > 500 Hz | > 300 Hz | > 500 Hz | > 300 Hz | > 1500 Hz | |||
回程误差 | <2% | |||||||
非线性误差 | <3% | |||||||
涂层 | 保护银（或其他高反射率涂层） | |||||||
操作温度 | -10~35℃ | |||||||
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