青岛佳鼎分析仪器有限公司
青岛佳鼎分析仪器有限公司
TWINSCANXT:1900GiStep-and-Scan系统是一种高生产率的双级浸没式光刻工具，专为45纳米及以下分辨率的300毫米晶圆批量生产而设计
TWINSCAN XT:1900Gi Step-and-Scan 系统是一种高生产率的双级浸没式光刻工具，专为 45 纳米及以下分辨率的 300 毫米晶圆批量生产而设计。
XT：1900Gi采用蔡司星石1900i浸没镜头。这是现有的大型ArF镜头，在1.35NA时，它推动了水基ArF浸入式平版印刷达到极限。结合ASML的Ultra-k1产品组合，它提供了行业的可用k1值，它可以实现40nm及以下的半间距分辨率。
XT：1900Gi采用新的测量和曝光周期，它为浸入式光刻设定了一个新的基准，每小时生产131个晶片。
您感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
仪表网 设计制作，未经允许翻录必究 .
请输入账号
请输入密码
请输验证码
