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日立Hitachi二手电镜CD-SEM CS4800

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更新时间：2023-04-15 07:44:38浏览次数：151次

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青岛佳鼎分析仪器有限公司

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产品简介

CS4800提供高质量的SEM成像、改进的测量精度以及快速、自动化的操作，旨在提高现有生产线的生产力和运营效率，并提高客户的过程控制能力

详细介绍

CS4800 提供高质量的 SEM 成像、改进的测量精度以及快速、自动化的操作，旨在提高现有生产线的生产力和运营效率，并提高客户的过程控制能力。此外，CS4800 可以配置为处理两种不同的晶圆尺寸，客户可以将其切换到新的晶圆传输系统。日立分析仪器计划扩大对碳化硅 (SiC) 和氮化镓 (GaN) 等各种晶圆材料的支持，以满足客户对新型半导体或电子设备的多样化需求。

Hitachi二手电镜CD-SEM CS4800

随着 CS4800 的开发，日立分析仪器将为广泛的 4、6 和 8 英寸晶圆厂提供可持续的 CD 测量解决方案，并将支持物联网应用、可穿戴设备和下一代的新兴技术设备功率器件。

主要特点：

工具占用空间和 GUI *4旨在轻松更换现有工具。
提供经过验证的高精度测量和的计量应用。
自动光轴对准将减少操作员错误。
具有强大模式匹配的高吞吐量、自动化配方测量操作。
提供多种晶圆尺寸选项。

主要参数：

测量精度	1 nm (3σ)（使用日立标准晶圆）
晶圆尺寸	直径 100、150 和 200 毫米
自动装载机	2个端口
设备尺寸（主体）以毫米为单位	1180(W) × 2500(D) × 1990(H)mm