苏州安而森试验设备有限公司
功率模块和固态灌封工艺真空脱泡固化箱组 真空脱泡固化箱组适用于用与IGBT功率模块和固态灌封工艺过程中通过真空泵,将真空箱内的气体抽到负压状态抽真空将胶水中的气泡去除(俗称脱泡)及胶水热固化。固化后可起到防水,防潮,防尘,绝缘等特性。被广泛地采用在功率半导体行业。 ......
设备基本技术指标
设备名称:真空脱泡固化箱组
设备型号:AHVT-RT0120J
真空脱泡箱参数:
内箱尺寸W×H×D mm:600×600×600
外箱尺寸W×H×D mm:1250×1650×900
内箱容积 :216L
真空度:100Pa
抽真空<133Pa时间:≤5分钟
加热方式:热辐射加热(箱体三面加热)
温度范围:RT+10~200℃
升温时间:升温时间,室温~200℃约为97分钟
固化箱参数:
内箱尺寸W×H×D mm:500×600×500
外箱尺寸(W×H×D)mm:880×1400×735
内箱容积 :150L
温度范围:RT+10~200℃
加热器:不锈钢发热管。
升温速率:≤3℃/min(全程平均空载)
温度波动度:≤±0.5℃
温度均匀度:≤2.0℃
温度偏差: ≤±2.0℃
充氮系统(选配)
a、氮气流量计:10~100L/min可调
b、氮气入口:φ10mm快接口
c、手动泄压阀,用于停电时泄压或排氮气用。
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