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NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机

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更新时间：2020-03-26 10:10:14浏览次数：505次

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产品简介

产地	国产	加工定制	是

NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机
产品特点：

不锈钢，铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔
70，250或500 l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源

详细介绍

NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机产品特点：

不锈钢，铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔
70，250或500 l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
带密码保护功能的多级访问控制
*的安全联锁

选配项：NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机

向上、向下或侧面溅射
RF、DC以及脉冲DC溅射
共溅射、反应溅射
组合溅射
RF或DC偏压（1000V）
样品台可加热到700°C
膜厚监测仪
基片的RF射频等离子清洗
预真空锁以及自动晶圆片上/下载片

应用：

晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
光学以及ITO涂覆
带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
带RF射频等离子放电的反应溅射

型号：

NSC-4000：基于PC计算机全自动控制的独立式系统
NSC-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统
NSC-3000：PC计算机全自动控制的台式系统
NSC-1000：半自动控制的台式系统

(以下为双系统型号)

NSR-4000：溅射/RIE系统
NSP-4000：溅射/PECVD系统
NST-4000：溅射/热蒸发系统

关键词：镀膜机直流电源

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