气体抽真空充气装置 真空泵对含水量1000PPM（体积比）以下的SF6气体，经本装置一次回收净化后，水份小于60PPM（重量比），油份小于10PPM（重量比）

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防腐型无油真空泵主要用于抽出容器内的气体，使容器能达到高的真空度，同时可用于真空干燥。

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