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NX-1000/2000纳米压印系统

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更新时间:2021-02-24 11:24:40浏览次数:303次

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产品简介

NX-1000/2000纳米压印系统

详细介绍

NX-1000/2000整片基板纳米压印系统经过了大量的实时实地验证,质量可靠,性能优越稳定。

具备全部压印模式:热固化、紫外固化和压印。基于*的Nanonex气垫软压技术(ACP),不论模版或基板背面粗糙程度如何,或是模版或基板表面波浪和弧形结构,NX-1000/2000均可对其校正补偿从而获得*的压印均匀性。

ACP消除了基板与模版之间侧向偏移,有效地延长了模版使用寿命。通过微小热容设计可获得快速的热压印周期,终得到快速的工艺循环。


主要特点:

所有形式的纳米压印

热塑化

紫外固化 (NX-2000)

热压与紫外压印同时进行(NX-2000)

热固化 


气垫软压技术(ACP)

Nanonex技术

完美的整片基板纳米压印均匀性

高通量 


低于10nm分辨率 

快速工艺循环时间(小于60秒)


灵活性

4″, 6″, or 8″压印面积可选

各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压印

方便用户操作 

基于超过12年、15代产品开发经验的自动化压印操作 

Nanonex压印系统经过大量实时实地验证,质量可靠,性能优越稳定


系统参数:

热塑压印模块

温度范围0~250℃ 

加热速度>300o℃/分钟

制冷速度>150℃/分钟

压力范围0 ~ 3.8MPa(500 psi)


紫外固化模块(NX-2000)

200W窄带紫外光源

365纳米或395纳米波长可选

全自动化控制


模版装载功能

4″/5″/6″模版可用于标配纳米压印系统 基板装载


基板装载

标配纳米压印系统可装载4″基板

6″和8″基板可选

各种尺寸及不规则形状模板及基板均可压印

*ACP技术可大限度保护基板和模板,特别对于象磷化铟(InP)等极易碎模板和基板给予大限度保护。


其他参数:

配有微软Windows的电脑控制系统 

用户友好的控制软件 

程序化控制压印温度、压力和时间 

真空和压缩空气操作由电脑控制 

手动装载/拆卸基板 

自动化压印操作 设备占地面积:31 × 44 英寸

(780 mm × 1110 mm) 


应用领域:

纳米电子和光电子、显示器、数据存储介质、*材料、生物科技、纳米流道等。



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