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Alicat 艾里卡特MCE或MCV系列真空气体质量流量控制器是真空专用设备。
/n Alicat MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器 简单升级老化的热式流量控制器 Alicat 艾里卡特MCE或MCV系列真空气体质量流量控制器是真空专用设备。MCE系列产品的特征如下:与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快,外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。 Alicat MCV和MCE联系紧密,采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。 耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。 艾里卡特Alicat提供*的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。 性能 可用量程:0-20 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签) 可调比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS) 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程) 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程) 可重复性:0.2%满量程 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms) 气动阀漏气率(仅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(值,氦气) 无需预热时间 工作条件 兼容气体:98种(MCE/MCV系列)或130种(MCES/MCVS系列)预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体 工作温度:-10°C至+60°C 内部压力(静态):145 psig(160 psia) 耐受压力:175 psig(190 psia) STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP) MCE或MCV系列包装清单: MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器(电源需另行订购) NIST可溯源校准证书 艾里卡特操作说明书 配件(需另行订购) 过程端口接头和过滤器 电源 通讯线缆和转换线缆 BB3和BB9多点式集线盒 Flow Vision软件
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