上海西努光学科技有限公司
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针对失效分析和大样本研究的原子力显微镜作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测
针对失效分析和大样本研究的原子力显微镜 作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20这款精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。 |  |
| 大全面的分析功能 Park NX20具备有一无二的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。 ****的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。 | 易于操作 ParkNX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。 |
样品侧壁三维结构测量 |  |
对样品和基片进行表面光洁度测量 |  |
高分辨率电子扫描模式
扫描式电容显微镜
无摩擦导电原子力显微镜 |  |
多种的砖利技术帮助顾客减少测试时间
CrN样品所做的针尖磨损实验 AFM测量 借助真正非接触模式，探针在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。 氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。
低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌 没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。 | ||
| · 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量 · 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm | · 没有前沿或后沿过冲现象 · 无需校准，减少设备维护成本 | |
Park NX系列原子力显微镜
| 传统的原子力显微镜
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Park NX20 规格
| XY扫描器 | 闭环控制XY平板扫描器 扫描范围 : 100μm x 100μm 50μm x 50μm 20位位置控制和24位位置传感器 | |
| 运动位移平台 | XY行程范围 : 150 mm (200 mm选配) | |
Z扫描器 | 导向强力Z扫描器 扫描范围 : 15 µm 30 µm 20位位置控制和24位位置传感器 | |
| 样品基座 | 样品尺寸：150 mm (200 mm选配) 真空样品吸附 | |
| 视场 | 光学物镜 | |
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