上海春长自动化设备有限公司
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项 目 M21000V 和M2100A1 流量规格（N2）: 25slpm ～ 120slpm（本公司可以为客户在25slpm ～ 120slpm范围内任何区域标定）2 准确度 :±1% F.S （Full Scale）139170099687 范
1. 用途及特点
气体质量流量控制器( Mass Flow Controller 简称MFC )能够在较大的量程
范围内对气体的质量流量进行精密测量和控制。
气体质量流量计( Mass Flow Meter 简称MFM )能够在较大的量程范围内
对气体的质量流量进行精密测量。
它们在石化工业、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、环保和
真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺
设备，如、氧化、CVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、；以及微反应装置、混气配气系统、镀膜设备、光纤熔练、气相色谱仪及其它分析仪器。
Line-Tech Ltd.致力于对产品的性能和生产工艺的不断改进。对M 系列气
体质量流量控制器（MFC）和气体质量流量计（MFM）进行了全新的技术改造，
在功能和性能上有了进一步的提高。
M 系列气体质量流量控制器和质量流量计具有精度高、响应速度快、重
复性好、稳定性佳、软启动、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下
工作)，其操作使用方便，可任意位置安装调试，并更好的与计算机连接实现自
动控制。
M2100V 和M
1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）
sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）
slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）
项 目 M21000V 和M2100A
1 流量规格（N2）: 25slpm ～ 120slpm
（本公司可以为客户在25slpm ～ 120slpm范围内任何区域标定）
2 准确度 :±1% F.S （Full Scale）
3
4 响应时间 :≤3sec ( 特别要求：:≤1sec )
5 耐压 :zui高 95 bar
6 工作环境温度 :
7 输入输出信号: 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA
8 电源 :±15Vdc, 350mA
气路接头形式
可提供5 种尺寸接管外径的接头类型：
a.. 1/8＂ Compress
b. 1/4＂ Compress
c. 3/8＂ Compress
d. 1/4＂ VCR
e. 1/4＂ VCO
范
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