详细摘要: 原子层沉积系统,包括:传统的热原子层沉积系统(TALD)、等离子增强原子层沉积系统(PEALD)、粉末样品的原子层沉积系统(Power-ALD)。
产品型号:所在地:更新时间:2022-10-15 在线留言上海骐锐信息科技有限公司
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