商品详情

低成本模拟量热式质量流量控制器 SEC-E系列

型号：SEC-E40、SEC-E50

日本horiba堀场/厚礼博品牌的SEC-E系列属于低成本、模拟输出型，现货供应。

概要

所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，必须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在必须对流量进行**计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。

特征

适用于宽广范围的流量控制，其控制范围可以从0.2 SCCM到500 SLM（以N2为标准）
被广泛的使用于的制造业，从一般工业到高科技产业。

規格

技术规格

型号	质量流量控制器)	SEC-E40MK3	SEC-E50MK3
	质量流量计)	SEF-E40(不带控制）	SEF-E50（不带控制）
适用气体种类*1		非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质		SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号		非通电时　关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范围 (适于SEC系列)		2〜99% F.S.
流量测量范围 (适于SEF系列)		0〜99% F.S.
响应速度		1秒以内(T98)
流量精度		±1% F.S.
直线性		±0.5% F.S.
反复性		±0.2% F.S.
工作差压值值 (适于SEC系列)		10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d)　10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用压力 (适于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐　压		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa・m3/s(He)以下
使用环境温度		5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)
流量设定信号		0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜99% F.S.
流量输出信号		0〜5VDC(*小负荷电阻2kΩ)
驱动电源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2		1/4SWL 类型