VUVaS 2000 双光束真空紫外光谱仪是McPherson 公司推出的世界的检测不同种类的材料在真空紫外波段（115-380nm 波长范围的吸收谱、透射谱和反射谱的检测仪器。可以根据用户的要求定制不同规格的样品室和样品架，测量不同大小、不同厚度的样品，并可进一步选择偏振和荧光发射测量，为不同材料在真空紫外波段的研究与应用提供的测试手段。由于VUVaS 2000 型真空紫外光谱仪采用的是真空斩波和锁相放大技术从而*地提高了信号检测的灵敏度和信躁比，是目前在这个波段开展上述弱信号测量zui的仪器产品。
【参数表】
1.光学特征
光度精确度
（157nm处）≤0.05%TRSD
光度准确度
115nm-380nm ≤0.3%TRSD 标准0.2%T（RSD）
光学稳定性
0.5%T/小时
光学噪声
优于0.17%T
2．光谱特征
波长范围
氘灯连续光源提供波长115nm-380nm
单色仪
McPherson公司改进的Seya-Namioka Model 234/302单色仪
光栅
III型镀MgF2 的凹面全息光栅，1200刻线/毫米
相对孔径
f/4.5
波长准确度
0.1nm
波长重复性
±0.03nm
分辨率
0.01mm狭缝分辨率为0.1nm
带通
带通宽度随狭缝宽度改变从0.1nm-10nm可调
3．样品测量
光束
校准/可变
斩波器
反射型斩波器（标准工作频率为90Hz）
探测器
R268型光电倍增管
测量方式
透射谱（吸收谱）、反射谱、散射谱、激发谱
探测器位置
相对于发射光束成20°-180°角
样品位置
相对于发射光束成0°-90°角
样品架尺寸
可容纳1英寸直径或2x2英寸或2英寸直径的样品（根据要求订制）
滤光片
5个可放25mm直径滤光片的位置
配件
225nm长通滤光片用于230nm-380nm的光谱范围
4.真空系统
真空泵
两个涡轮分子泵，闸式阀门控制净化样品区域
真空范围
典型工作压力为10-5torr,样品区可被单独净化
5．控制系统
控制器
LabView windows软件用于波长控制和信号恢复，图形式/数字式输出反射谱及透射谱信号
输入电压
220 V / 15 安培 / 50 Hz
工作环境
