苏州卡斯图电子有限公司
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本设备采用新进的光学设计，保证了高质量的边缘检测和显微检测。在直线校准中，采用夹线和叉线进行观测，比单纯使用一个直线进行观测所获得的结果更为精确。
MT-400AH工具金相显微镜是苏州卡斯图电子有限公司根据半导体客户研发的一款高精度测量设备。使测量物体精确的对准样品边缘是至关重要的，本设备采用新进的光学设计，保证了高质量的边缘检测和显微检测。在直线校准中，采用夹线和叉线进行观测，比单纯使用一个直线进行观测所获得的结果更为精确。在主机设计方面，我们致力于增强它与操作人员之间的亲和性以及操作的舒适性。此外，我们还采用了抗疲劳设计，操作人员即使长时间使用，也不会感到疲劳和不适。新近研发的FA照明器具有分光棱镜辅助对焦功能，可提供更锐利的图案。可在Z轴测量期间提供精确对焦，由于不同物镜焦深差异导致的测量误差被降至。两侧均配备了同轴粗/微调手轮，以速度实现对焦，仪器内置高精度光栅尺，可进行精确的3轴测量。
特征及优势
■ 配置完善，测量精准
■ 平台可快速移动，方便大尺寸产品测量
■ 符合人体设计的光学观察
■ 测量数值实时显示
■ 主机台快速测量，电脑端同步展示
■ 便捷强大的测量分析软件
■ 可选配晶圆台
■ 校准和线性检测
■ 包含独立仪器桌、台式电脑、键盘、鼠标和 22英寸的显示器
■ 标准尺
仪 器 型 号 | MT-300AH | MT-400AH | MT-500AH | ||||
工 作 台 | 铸铁台尺寸(mm) | 356×266 | 487×367 | 606×476 | |||
玻璃台尺寸(mm) | 260×160 | 345×245 | 445×345 | ||||
运动行程(mm) | 200(X)×150(Y) | 300(X)×200(Y) | 400(X)×300(Y) | ||||
调焦行程(mm) | 100 | 100 | 150 | ||||
放大倍数与摄像系统 | 500万像素工业相机，可拍照可测量 | ||||||
物镜5X，10X，20X，50X （100选配） 目镜：10X/20 | |||||||
X轴/Y轴显示精度：0.0001mm Z轴显示精度：0.0001MM | |||||||
总放大倍数50X-500X | |||||||
示值误差 | X.Y≤(2.5+L/200)um | Z≤(3.5+L/50)um(L为被测长度单位:mm) | |||||
照明系统 | LED环形表面光+底部平行光 | ||||||
外形尺寸(mm) (长×宽×高) | 600×550×780 | 760×580×820 | 970×750×1000 | ||||
承重 | 20kg | 20kg | 25kg | ||||
仪器重量（kg） | 150kg | 170kg | 200kg | ||||
仪器电源 | 220V（AC） 50HZ | ||||||
由于微观结构检测趋于细微化，不仅要满足观察和测量这一生产和质量管理原则，而且测量显微镜同时对其精度要求也越来越高
人体工程设计
在显微镜主机设计方面，我们致力于增强它与操作人员之间的亲和力以及操作的舒适性。其仪器设计十分便于操作。此外，它还采用了抗体疲劳设计，操作人员及时长时间使用，也不会感到疲劳和不适。
辅助对焦
新近研发的FA照明器具有分光棱镜辅助对焦功能，可提供更锐利的图案。可在Z轴测量期间提供精确对焦，由于不同物镜焦深差异导致的测量误差被降至。
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