兰州真空设备有限责任公司
油增扩泵是用来获得1.3×10-1到10-5Pa高真空的主要获得设备
油增扩泵是用来获得1.3×10-1到10-5Pa高真空的主要获得设备。它和阀门、水冷挡板、管道、机械泵一起组成抽气泵统。由于增扩泵在1.3×10-1时仍有较大抽速,且采用内加热方式、泵启动快等特点,特别适用于真空镀膜、真空冶金等行业。
系列产品参数
参 数 | ZK-400 | ZK-400 |
极限压力 Pa | ≤6.7×10-5 | |
抽气速率 L/s | ≥5500(1.3×10-3~6.7×10-2Pa) ≥2500(1.3×10-1Pa) | ≥16500(1.3×10-3~6.7×10-2Pa) ≥2500(1.3×10-1Pa) |
临界前级压力 Pa | ≥50 | |
加热功率 kW | 5.1 | 15 |
电源电压 V | 220 | 380 |
冷却水用量 L/h | 400 | 900 |
泵油用量 L (KS-3或275#硅油) | 2 | 16 |
推荐前级泵抽速 L/s | 70 | 150 |
油位观察窗 | — | — |
泵芯级数 | 5级 | 5级 |
外形尺寸 (L×W×H) | 550×570×825 | 1200×780×1500 |
重量(净重) kg | ~150 | ~390 |
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