技术文章第10页－哈尔滨芯明天科技有限公司

2021
05-06

大行程三维精密压电平台
P12.XY500Z800为大行程XYZ三维运动扫描台，平台采用机构放大设计原理，中心具有通孔，非常适用于近场扫描、共焦显微等应用。该系列扫描台XY轴程可达500μm，Z轴直线运动行程可达800μm。...
2021
04-25

压电陶瓷的“共振频率”说明
压电陶瓷是指把氧化物混合(氧化锆、氧化铅、氧化钛等)高温烧结、固相反应后而成的多晶体，并通过直流高压极化处理使其具有压电效应的铁电陶瓷的统称，是一种能将机械能和电能互相转换的功能陶瓷材料。由于具有较好...
2021
04-25

压电扫描平台在激光直写系统中的应用|光刻
激光直写是利用强度可变的激光束对基片表面的抗腐蚀材料实施变剂量曝光，显影后在抗腐蚀层表面形成所要求的浮雕轮廓，激光直写系统的基本工作原理是由计算机控制高精度激光束扫描，在光刻胶上直接曝光写出所设计的任...
2021
04-25

一维Z向小体积直线压电平台
P11.Z100为小体积一维Z向压电平移台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链...
2021
04-20

纳米定位台是如何满足纳米调节使用的？
纳米定位台具有移动面，是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出，分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压...
2021
04-19

压电陶瓷的静态特性之压电陶瓷的位移与出力
在无预紧力及恒定负载条件下，F=衡量压电陶瓷在恒力或者恒定质量下，陶瓷被压缩量的公式如下：（1.1）变化位移ΔL0的计算公式和无外力时是一样的，见公式1.2。（1.2）如果施加的外力F的值过大，在没有...
2021
04-19

360°旋转压电马达
N61系列360°旋转压电马达是由压电陶瓷驱动，利用特殊机械结构设计，将压电陶瓷产生的直线微位移转换为机械平面的宏观角度旋转运动。N61系列旋转压电马达可产生360度旋转运动，具有超高的旋转分辨率，它...
2021
04-10

P60系列Z向大行程直线微运动平台
P60系列Z向大行程直线微运动平台P60.Z500是以压电陶瓷为驱动源，并采用放大机构的一维Z向运动的大行程直线微运动平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选...
2021
04-10

基于微位移技术提高CCD分辨率
在实际的应用中，特别是科研领域，经常需要较高分辨率的图像，所以如何利用现有工艺水平下的CCD图像传感器件，获得更高的分辨率就成了一个关键的问题。目前比较有效的一种方法是采用被摄物成的像与CCD图像传感...
2021
04-06

快速激光束偏转及扫描解决方案|压电偏转系统！
激光束偏转及其扫描在半导体加工、航空航天、生物医学、纳米科学研究等领域得到了越来越多的应用，同时对其性能要求也越来越高，受其体积、扫描频率、扫描精度、扫描分辨率等诸多因素的制约，传统的扫描方式越来越难...
2021
04-06

芯明天压电微定位技术
微定位技术是前沿技术之一，也是精密加工、精密测量、精密工程等微观领域中的关键技术，在精密机械和精密仪器中应用广泛。微动定位平台是精密定位技术中的一项重要载体。直线运动压电纳米定位台芯明天直线运动压电纳...
2021
04-06

压电纳米扫描系统在干涉测量系统中的应用！
压电纳米扫描系统是由精密压电纳米定位台与压电控制器组成，系统可完成单轴或多轴的纳米精度的运动控制。下图中为芯明天的一款小体积型Z向压电纳米扫描系统。干涉测量干涉测量是基于电磁波的干涉理论，通过检测相干...
2021
03-29

小体积大负载压电物镜定位器
P76.Z50S/KA为小体积大负载Z轴压电物镜定位器，高度尺寸仅为37.5mm，负载能力可达500g，Z轴可实现50μm的直线运动范围，采用柔性铰链设计机构，无摩擦，直线性好，闭环版本定位精度高。分...
2021
03-29

影响压电系统定位精度的因素！
我们知道压电陶瓷的理论分辨率是可以达到无限小的，实际中取决于电源控制器和测试系统等因素。采用芯明天压电控制系统，可达纳米及亚纳米级，适用于微纳米范围的高精度定位。由于压电陶瓷存在迟滞和蠕变的特性，所以...
2021
03-18

压电陶瓷驱动电源的系统电路设计
压电陶瓷驱动器(PZT)是微位移平台的核心，其主要原理是利用压电陶瓷的逆压电效应产生形变，从而驱动执行元件发生微位移。压电陶瓷驱动器具有分辨率高、响应频率快、推力大和体积小等优点，在航天、机器人、微机...
2021
03-13

压电陶瓷的静态特性
1.1出力和位移的关系位移△L0：是压电陶瓷产生的位移，这个数值是在空载条件下测得，即在压电陶瓷产生位移过程中不受任何阻力。对陶瓷施加电压后，测得相应位移。出力Fmax：是压电陶瓷产生的大出力，这个数...
2021
03-13

3D压电式样品定位台
P12A.XY200Z100系列压电纳米定位台*样品校准应用的要求，45mm×45mm的大孔径允许直接将物镜放置在样品下面。集成闭环反馈传感器，保证长期高精度样品调整，一体式结构使得多维运动无耦合。产...
2021
03-12

快速刀具定位器的四大技术特征来了解下
快速刀具定位器在快速车削加工过程中控制刀具产生高频响、小范围的Z向快速精密进刀运动，配合高精度的主轴回转及X向位移运动，来完成复杂非面形零件的精密高效车削加工，在车削加工中起着关键性作用。快速刀具定位...
2021
03-08

P16系列稳像压电扫描台
P16系列压电扫描台为XY轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心具有通孔，该系列扫描台有行程可达105μm，开环、闭环可选。方形移动台面，便于与外部机械结构安装连接。特点•位移可达105μm•承载能力1...
2021
03-08

压电陶瓷动态特性
1.谐振频率压电陶瓷是振荡的机械系统，特征可由谐振频率fres来表述。谐振频率是由陶瓷的刚度和质量分布（有效的运动质量）决定的。我公司陶瓷（非单层）的谐振频率可达100kHz。压电陶瓷的谐振频率反映的...

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