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行业产品
当前位置:深圳瑞安电子科技有限公司>>半导体特气检测>> XP-703DXP-703D 半导体特气检漏仪(自动吸引式)
产品型号XP-703D
品 牌
厂商性质代理商
所 在 地深圳市
联系方式:曾翠平查看联系方式
更新时间:2024-10-14 21:11:32浏览次数:164次
XPS-7 半导体材料气体
XP-703D 半导体特气检漏仪(自动吸引式)
详情介绍
XP-703D 半导体特气检漏仪(自动吸引式)
特点: 于检测半导体特气的微量泄漏。 采用声光报警。规格
检测对象气体
半导体材料气体(胂、膦、、硅烷、氢气等)
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度 (单位:ppm)
砷烷 磷烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
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