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应用领域：
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
技术参数
型号 | 3系列 | 3Plus |
舱体尺寸 | D200XΦ155mm | D200XΦ155mm |
舱体容积 | 3.8L | 3.8L |
舱体材质 | 不锈钢 | 不锈钢 |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 电容式 | 电容式 |
射频功率 | 10-500W可调 | 10-150W可调 |
气体控制 | 双浮子流量计（标配） | |
有效处理尺寸 | L200xW155mm | |
时间设定 | 9999秒 | |
真空泵 | 抽速4m³/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
真空度 | 100pa以内 | |
电源 | AC220V 50/60Hz 666/316W | |
舱体尺寸 | L235xW345xH245mm | |
控制尺寸 | L330xW490xH190mm | |
包装尺寸 | L450xW640xH690mm | |
整机重量 | 25kg | |
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