中试生产型等离子清洗机 返回列表页

应用领域：

等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。  

中试生产型等离子清洗机是为研发型客户和工业级客户而设计的等离子体表面处理设备。配置丰富，且真空腔体里可分层，适合大多数生产场景清洗，活化、刻蚀等应用。设备可在严苛环境下稳定运行，产品性能稳定，样品处理重复性、一致性好。

产品特点

u 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动监测工艺参数状态，20个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据。

u PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。

u 采用质量流量计，气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气体等气体。

u 采用多孔道进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

u HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。

u 316不锈钢真空舱，洁净无污染。

u 全真空管路系统采用316不锈钢材质。

u 处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。

u 合理的结构设计，设备占用空间小。

u 可处理各种材质、形状、尺寸样品。

u 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。

u 使用成本低、耗损小。

u 产品性能稳定，安装维护，简单方便。

u 安全保护，舱门打开，自动关闭电源。

u 机器运行、停止提示。

技术参数