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真空涂层试用!| WEH®和NFH®涂层的案例分享

时间:2025-8-19阅读:326
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真空涂层xianshimianfei试用!| WEH®和NFH®涂层的案例分享

真空涂层试用!| WEH®和NFH®涂层的案例分享


WEH®和NFH®涂层是日扬研制的两款真空纳米涂层,专门针对解决半导体、光伏等行业之中,真空系统制程设备以及零部件中的腐蚀、堵塞难题。延长设备和零件的使用寿命和维护/更换周期,以提高产线稼动率, 达到大幅降低成本的目的。

真空涂层试用!| WEH®和NFH®涂层的案例分享

点击图片了解更多关于WEH®



真空纳米涂层的优点

-WEH®和NFH®的特点-

• 纳米级材料,可均匀且牢固附着基材表面。

• 强疏水性,接触角高达106°,不易粘附粉尘。

• 耐腐蚀性,有优秀的耐强酸、强碱性能。

• 耐高温性,可在400℃环境下保持优良性能。

• 性能稳定,经等离子束轰击测试可保证低蚀刻率。不参与制程环境反应。对水分、腐蚀性气体的阻隔性能优异,通过5B硬度测试,耐刮擦,这些稳定性能使该涂层寿命更久。


WEH®和NFH®涂层的比较

真空涂层试用!| WEH®和NFH®涂层的案例分享

1.WEH®涂层:相对来说成本更低,加工工序更加简单,适合大面积涂装,并已在zhiming半导体厂商MOCVD、ALD、AI-Pad等制程中应用,主要涂装在真空泵、管道、阀门等零件之中。

2.NFH®涂层:不含氟,对环境和人员友好,不会产生PFCS、PFAS等副产物,适用于欧美环保标准;可替代现流行的PFAS材料以及特氟龙涂层;抗腐蚀性能是WEH®的4~8倍,适用于更严苛的制程环境。

日扬科技
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上海日扬WEH®实验室介绍



涂层实用案例

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Q

如何知道该涂层是否适合我?

一般来说,如果您遇到以下几种情况,可以考虑日扬科技真空纳米涂层:

1.真空系统中,真空泵和管路经常堵塞、被腐蚀从而需要频繁的停机维护。

2.工厂面临产线和设备升级,需要实现长期的降本增效

3.目标客户有着高标准的环保要求,需要降低工厂有害物质特别是含氟物质排放。

4.一般的抛光、电镀、镀膜等等材料表面处理工艺无法满足制程要求,可选用特殊涂层实现防腐蚀性能。

5.除真空制程外,一般的化工、船舶、工业品生产,也可以考虑涂装,以实现优异的防腐蚀、防粘连性能。

A

Q

涂层产品有经过市场验证吗?

WEH®涂层一经问世便通过了接触角、粗糙度、疏水性、划格硬度、耐腐蚀性、热稳定性、等离子蚀刻、沉积物对比等等测试,包括提供了EDX/XPS材料表面含氟测试结果与选择性成膜实验结果,均由第三方检测供应商提供数据,相较于同类别涂层,WEH®取得了优异的成果。目前,国内不少zhiming晶圆厂在排气管线、干泵/涡轮泵上均有上机实用,以替代传统3M3700,目前来看,日扬研制的WEH®涂层产品有5年以上的实验和市场验证,可放心选择。

A

Q

如何验证对我们的制程或设备有作用?

WEH®或NFH®涂层在不同的制程环境下表现不同,不同的温度、特气、压力、结构、反应物甚至包括设备操作流程都会对涂层产品性能产生一定的影响,另外很多厂商也会考虑成本投入和产出的效益,担心上机涂装后,性价比较低,这一切顾虑都将由日扬来解决!自今日起,我们将在有意咨询的厂商内,限定qian10名,免费承担一定体积产品的打样/试用费用,您们将设备与零件寄过来,我们免费涂装交于厂商试用,提供全程技术支持,取得优秀的防堵塞、防腐蚀效果验证后,再考虑是否采用日扬涂层产品。



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