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Htc真空钟摆阀具有高性能真空壓力控制系統，控制節流擺閥板可做開關動作，調整閘板開口大小及調整壓力(手動), 主要設計用來取代傳統的線性作動真空閘閥，以更少的移動零件、更少金屬與金屬間的摩擦，就能讓粉塵減少。以Htc日揚真空鐘擺閥的安裝也比傳統的真空閘閥方式只需要更少的空間即能便利安裝。
真空钟摆阀的应用
高科技制程后段压力控制和隔离阀
应用产业
>> SEMI - 半导体
>> FPD - 光电面板
>> CVD - 化学气相沉积
>> Solar - 太阳能
APC钟摆阀特点
集成整合压力控制
精确的压力控制
密实的隔离
反应时间快
友善简易操作使用接口
材质 | 本体 | A6061-T6 | ||
阀板 | A6061-T6 | |||
开关寿命 | 200,000 cycles | |||
氦气泄漏率 (一大气压压差) | 本体 铝合金 | ＜1×10-9 mbar .l /sec | ||
本体 铝合金 ,超硬阳极处理 | ＜1×10-5 mbar .l /sec | |||
烘烤温度 | 本体 | ≤ 120 ℃ | ||
驱动器 | ≤ 80 ℃ | |||
电磁阀 | ≤ 50 ℃ | |||
压力范围 | 铝合金 | 1×10-8 mbar to 1.2 bar | ||
铝合金 ,超硬阳极处理 | 1×10-6 mbar to 1.2 bar | |||
最大压差 | 1.2 bar | |||
开启前压差 | ≤ 5 mbar | |||
压缩空气压力 | 4 ~ 6 Kg/cm² | |||
开 / 关时间(秒) | ISO 200 | ISO 250 | ISO 320 | |
1.2/1.2 | 1.2/1.2 | 2.0/2.0 | ||
密封圈材质 | 阀板 | Viton O-ring 密封圈 | ||
阀盖 | Viton O-ring 密封圈 | |||
驱动器 | 气动气缸与手动旋钮 | |||
重量 | ISO 200 | ISO 250 | ISO 320 | |
22Kg | 32Kg | 52Kg | ||
安装位置 | 水平或垂直 | |||
选配 | a. 其他密封圈材质 | |||
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