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压阻式压力传感器的结构2

时间:2011/1/17阅读:1664
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压阻式压力传感器的结构,其核心为一块有四个扩散电阻的单晶硅膜片,用一个圆形环固定,将两个气室隔开,两个气室分别与被测压力相通,膜上布四个扩散电阻,组成一个测量电桥。

  用于腐蚀性介质测量的压阻式传感器多采用隔离式结构,压力通过密室两边由不锈钢等材料制作的隔离膜片,经隔离液传送到被放置于密室中的单晶硅膜片,使单晶硅膜片上的扩散电阻阻值发生变化。不但解决了耐腐蚀的问题,且提高了传感器引线的抗冲击和振动性能,也易于实现过载保护。

 

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