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X型硅压力传感器结构，它在单晶硅片*蚀刻正方形的膜片，作为上方压力承受区，并用离子注入工艺制作出四个X型排列的压敏电阻，当腐蚀腔为真空时，传感器所测压力为压力，当腐蚀下方一小孔时，则成为差压传感器。与一般的压阻传感器不同的是，四个压敏电阻并没组成惠斯通电桥，在X型电阻的两端加一偏置电压，形成一个电流，当有剪切应力作用时，将会产生一个垂直于电流方向的电场，电场变化引起电位变化，在X型电阻的另两面三刀端可得到由被测压力引起的输出电压，典型的摩托罗拉MPX系列硅压力传感器就是据此制造的，具有灵敏度高、线性度好、精度高、长期重复性好的特点。
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