铜铟镓硒薄膜太阳能电池板以其高转换率和低成本备受期待。由于各层的颗粒尺寸和层结构质量会影响发电表现，因此用SEM观察断面结构非常重要。
日立SU8200系列采用全新开发的冷场电子枪，实现超高分辨率下观察的同时，稳定的束流亦可满足长时间下的分析需求。该系列冷场发射扫描电镜（FE-SEM）中，有SU8220、SU8230、SU8240三款机型，并于今年5月20日起同步开始发售，我们使用SU8200系列场发射扫描电子显微镜观察了该太阳能电池断面。
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