上海昭沅仪器设备有限公司
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相比氮化硅薄膜，氧化硅薄膜更适合用于含氮样本。在EDS研究中，如基片薄膜含氮，则会与样本造成混淆。
透射电镜（TEM）用氧化硅薄膜窗格
氧化硅与氮化硅薄膜窗格比较：
相比氮化硅薄膜，氧化硅薄膜更适合用于含氮样本。在EDS研究中，如基片薄膜含氮，则会与样本造成混淆。
样本安置面：
对多数用户来说，样本应安置在薄膜窗格的“覆膜面”而非“蚀坑面”。但我们也知道在一些特殊情况下，蚀坑面也可安置样本。除对样本进行原子力显微镜（AFM）观测外，蚀坑面本质上并非不可用于放置样本。实际上，没有一个显微镜的悬臂可以伸至蚀坑内“看清”薄膜表面。
产品规格：
氧化硅薄膜窗特点：
清洗：采用等离子清洗，无有机物残留，改善成像质量；
均匀性：减少了不同区域的不均匀性；
稳定性： 耐高温，>1000℃；
良好的化学稳定性：图像分辨率和机械强度达到理想的平衡；
化学计量比的SiO2：可用于氮气环境下的EDX分析；
氧化硅薄膜窗规格
窗口类型 | 薄膜厚度 | 窗口尺寸 | 框架尺寸 | 框架厚度 |
20nm | 2x1阵列，100X1500µm | Φ3mm | 200µm | |
40nm | 2x1阵列，100X1500µm | Φ3mm | 200µm | |
20nm | 3x3阵列，窗口100X100µm | Φ3mm | 200µm | |
100nm | 3x3阵列，窗口100X100µm | Φ3mm | 200µm | |
8nm | 窗口0.5x0.5mm，氮化硅薄膜200nm；24个网格，网格大小70x70µm | Φ3mm | 200µm | |
18nm | 窗口0.5x0.5mm，氮化硅薄膜200nm；24个网格，网格大小60x60µm | Φ3mm | 200µm | |
40nm | 窗口0.5x0.5mm，氮化硅薄膜200nm；24个网格，网格大小50x50µm | Φ3mm | 200µm |
优点：
应用：
氧化硅薄膜应用范围非常广，甚至有时使不可能变为可能，但所有应用都有无氮要求（因样本中有氮存在）：
● 惰性基片可用于高温环境下，通过TEM、SEM或AFM（某些情况下）对反应进行动态观察。
● 作为耐用（如“强力”）基片，首先在TEM下，然后在SEM下对同一区域进行“匹配”。
● 作为耐用匹配基片，对AFM和TEM图像进行比较。
● 聚焦离子束（FIB）样本的装载，我们*使用多孔薄膜，而非不间断薄膜。
氧化硅薄膜TEM网格操作使用：
如果正确操作，氧化硅薄膜将会拥有非常好的性能。相反，若用工具直接接触薄膜，则会即刻损坏薄膜。为防损坏，可用尖嘴镊子小心夹取，就像夹取其他TEM网格一样。
使用前清洁：
氧化硅薄膜窗格在使用前不需进行额外清洁。有时薄膜表面边角处会散落个别氧化物或氮化物碎片。由于单片网格需要从整个硅片中分离，并对外框进行打磨，因此这些微小碎片不可避免。尽管如此，我们相信这些碎片微粒不会对您的实验产生任何影响。
咨询：/29; admin@instsun.com
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