上海昭沅仪器设备有限公司
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KOSAKA ET150基于 Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
Kosaka ET150台阶仪
株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立，也是日本*家发表光学杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商，主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为代表性单位且在日本精密测定也占有一席无法被取代的地位。
KOSAKA ET150基于 Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET150配备了各种型号探针，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色 CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。
产品特点：
二次元表面解析，可测量段差
高精度、高分辨率和良好的再现性
FPD面板显示，可测定微细表面形状、段差、粗度等
低测定力，可测定软质材料
主要应用---膜厚测量
制程机台（如曝光机、溅镀机、蚀刻机）best recipe 找寻。例如：PVD、CVD、DLC真空溅镀薄膜台阶、应力测试及软质光阻材料等薄膜台阶测量。
技术参数：
型号 | ET150 | |
zui大样品尺寸 | φ160x48mm | |
样品台 | 尺寸 | φ160 |
倾斜度 | ±2°（X,Y手动） | |
承重 | 2Kg | |
检出器 | 触针力 | 10μN-500μN（1mg-50mg） |
范围 | 600μm（0.1nm分辨率） | |
驱动 | 直动式（差动变压器） | |
触针 | R2μm 顶角60° | |
X轴 | zui大测长 | 100mm |
直线度 | 0.02μm/100mm | |
速度 | 0.005-20mm/s | |
重复性 | ±5μm（定位） | |
Y轴 | zui大测长 | 25mm/手动 |
Z轴 | zui大测长 | 50mm |
放大倍数 | 垂直 | 50-2000000 |
水平 | 1-10000 | |
监控系统 | 摄像装置 | 1/3 inch CCD |
监视装置 | 视频捕捉板 | |
移动方法 | 手动 | |
辅助功能 | 教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等 | |
应用 | 成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度 | |
重复性 | 1σ1nm | |
电源 | AC90-240V 50/60Hz 300VA | |
外观尺寸 | W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震台） | |
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