扩散硅压力变送器的被测介质的两种压力通入高、低两压力室，低压室压力采用大气压或真空，作用在δ元件，即敏感元件的两侧隔离膜片上，通过 隔离片和元件内的填充液传送到测量膜片两侧。
扩散硅压力变送器由测量膜片与两侧绝缘片上的电极各组成一个电容器。 当两侧压力不一致时，致使测量膜片产生位移，其位移量和压力差成正比，故两侧电容量就不等，通过振荡和解调环节，转换成与压力成正比的信号。每个月检验一次,主要是清除仪器内的灰尘，安装时应使变送器的压力敏感件轴向垂直于重力方向, 如果安装条件限制,则应安装固定后调整变送器零位到标准值。
使扩散硅压力变送器的膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。它是建立在微米/纳米基础上，在单晶硅片上刻融制作惠斯登电桥组成的硅应变计，经500度以上高温熔化玻璃，弹性体受压变形后产生电信号，由带微处理器的数字补偿放大电路进行放大，经数字软件进行全智能温度补偿，输出标准信号。在标准净化生产过程中，扩散硅压力变送器的参数严格受控，避免了温度、湿度及机械疲劳的影响，具有频响高、工作温度宽等特点，保证了传感器在工业恶劣环境中使用的长期稳定性。
