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NG-A高分辨率纳米编码器

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更新时间：2023-11-01 11:36:43浏览次数：62次

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产品简介

NG-A是用于测量二维超精密的平面位移的测量系统。NG-A是一个XY网格编码器系统，湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的，该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG-A在制造栅格的过程中，能够保证其达到激光干涉仪的精度，并且以一个更经济的价格、更实用和更坚固的制造工艺来封装它。XY编码器或者叫栅格，在X和Y方向上以10um的作为基础周期，整个计量系统则以5um的作为测量周期。NG用三相90-......

详细介绍

- 主要特点-

亚纳米的分辨率；
重复性小于5nm；
低阿贝误差；
对湍流效应及大气压强变化不敏感；
占地面积小，重量轻；
可选真空版本；
易于安装，包括栅格安装的应力消除；
栅格和探头的间隙为12mm；
对准误差低；
完善的技术支持；可定制；

-应用领域-

高精度低成本位置控制；
实时校准；
精密金刚石车削实验室；
镜头自动对焦；

- 技术规格-

NG-A
系统性能
重复性	±5nm
精度（175mm×175mm）*	±200nm
精度（380mm×380mm）*	±1.0μm
*（温度变化±0.25℃）
速度	700mm/s
编码器到探头间距	12.0±0.1mm
测量区域（其它区域可选）	40×45mm, 150×150mm 210×210mm, 380×380mm
工作温度	+10°C～+40°C
存储温度	–20°C～+50°C
NG探头
尺寸	23.5×47.0×60.5mm
外壳材料	6061-T6铝
光源（785nm）	Class IIIb，3mw，激光二极管
重量（不包括线缆）	110g
接口线缆	3m，15针接头
双轴高分辨率处理器
分辨率	LSB = 5μm ÷ 214 ≈0.305 nm
更新频率/轴	375KHz（并行输出）
范围（785nm）	～1300mm（全部32位）
数据传输时间	<8μs；静态<25ns< span="">
接口	25针测试连接头 2个60针并行连接头 PC兼容的16位ISA总线 15针HD连接探头
输出格式	32位并行字
A-quad-B（可选）	边缘频率: 1.875, 3.75, 7.5, 15MHz 　　　分辨率: 5μm÷2N; N = 9~14; 　　　≈0.3~9.8 nm 频率和分辨率可选
机械性	ISA兼容16位PC板
电源（不包括A-quad-B）	+5VDC (+0.25/-0.13 V)@ 2.2 A; 　　　+12VDC ±0.5V @120 mA; –12VDC ± 0.5V @70 mA
NG编码器
间距（机械/光学）	10 μm / 5μm
钠钙膨胀系数	7.0 × 10^-6/°C
石英（熔石英）膨胀系数	0.7 × 10^-6/°C
如果想采用其他材料，请咨询工厂