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沈阳仪表科学研究院
压力传感器 压电传感器
详细摘要:压力传感器采用自主研发的技术,使用*的加工技术在SOI晶圆表面的250nm厚可加工材料层上制作出孤立的“岛"状硅敏感电阻阵列,用绝缘膜电隔离技术替代了传统的PN结电隔离技术,由于SOI芯片避免了PN隔离问题,相比于常规的扩散硅,具有更好的稳定性,可以实现更高温度下的压力测量。
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