高温压力传感器

1.高温压力传感器产品概述

高温压力传感器是工业实践中为常用的一种压力变送器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、、石化、油井、电力、船舶、机床、管道送风、锅炉，熔炉等众多行业。

是为了解决在高温环境下对各种气体、液体的压力进行测量。主要用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高温油品液位与检测、油井测压等领域。目前，研究比较多的主要有SOS，SOI，SiO2，Poly2Si等半导体传感器，还有溅射合金薄膜、高温光纤压力传感器和高温电容式压力传感器等。半导体电容式压力传感器相比压阻式压力传感器其灵敏度高、温度稳定性好、功耗小，且只对压力敏感，对应力不敏感，因此，电容式压力传感器在许多领域得到广泛应用。

由硅膜片、衬底、下电极和绝缘层构成。其中下电极位于厚支撑的衬底上。电极上蒸镀一层绝缘层。硅膜片则是利用各向异性腐蚀技术，在一片硅片上从正反面腐蚀形成的。上下电极的间隙由硅片的腐蚀深度决定。硅膜片和衬底利用键合技术键合在一起，形成具有一定稳定性的硅膜片电容压力传感器。

2.工作原理

的工作原理风压传感器的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。

3.相关参数

量 程： -0.1～0～1～150(MPa) 综合精度：0.25%FS、0.5%FS

输出信号： 4～20mA(二线制)、0～5V、1～5V、0～10V(三线制)

供电电压： 24DCV(9～36DCV)

介质温度： -20～800℃

环境温度： 常温(-20～85℃)

零点温漂移： ≤±0.05%FS℃

量程温度漂移： ≤±0.05%FS℃

补偿温度： 0~70℃

安全过载： 150%FS

极限过载： 200%FS

响应时间： 5 mS(上升到90%FS)

负载电阻： 电流输出型：大800Ω；电压输出型：大于5KΩ

绝缘电阻： 大于2000MΩ (100VDC)

密封等级： IP65