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SuperView W3白光干涉仪

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更新时间：2022-01-24 10:44:52浏览次数：187次

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青岛润禄机电设备有限公司

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产品简介

SuperView W3白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。　　SuperView W3白光干涉仪可广泛应用于半导体制造......

详细介绍

产品型号：SuperView W3

产品名称：白光干涉仪

原理：非接触、三维白光扫描干涉仪

扫描装置：长范围，Z轴纳米光栅控制

物镜：Nikon，10×无限远共轭干涉物镜

物镜座：5孔电动物镜塔台（标准）

测量阵列：1024*1024，工业级相机

Z轴：100mm行程，纳米位移闭环反馈

安全性：系统集成紧急制动功能

样品台：0.1nm电动，俯仰倾斜±6°，电动调节，XY行程300*300
　　　　尺寸450*450mm，亚微米闭环反馈

一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。
测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。
测量中提供拼接测量功能。
分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。
分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。
分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能，设置分析模板，结合测量中提供的自动测量和批量测量功能，可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

半导体制造（减薄粗糙度、镭射槽道轮廓）	光学元器件.曲率&轮廓尺寸&粗糙度

（超精密）加工.轮廓尺寸&角度	表面工程（摩擦学）.轮廓面积&体积

3C电子（玻璃屏）.粗糙度	标准块.台阶高&粗糙度