有很宽的工作压力范围,产品可以从真空直到10Mpa;本产品可以使用多种气体介质(包括一些腐蚀性气体等等);有很宽的流量范围,产品*小流量范围可达0~10sccm...
1 流量规格(N2) 10sccm~30slpm 2 准确度 ±1%F.S(Full Scale)3 重复精度 ±0.25%F.S(Full...
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