上海续波光电技术有限公司
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MEB550S2-I超高真空三腔体电子束蒸镀设备
关键词：磁控溅射、电子束蒸镀、超高真空、金属膜、氧化膜、约瑟夫森结、超导、量子器件、量子比特、
多腔体、Qubit、UHV、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、sputtering system
Evaporation system、Nb-based superconductor、超导铝结、Josephson junction
型号：MEB 550S2 产地：欧洲； 应用：沉积Al、Ti、Ni、Au、W、Ag
磁控溅射和电子束蒸发镀膜一体机是纳米器件制备中的仪器，用于制备各种高纯金属薄膜和氧化物薄膜。开展量子计算机实验研究，如基于金刚石NV色心，离子阱，超导量子结，量子点电子自旋的研究，均需要蒸镀/溅镀各种高质量金属薄膜来制备量子器件。
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