上海续波光电技术有限公司
热丝化学气相沉积系统(HFCVD)-纳米晶金刚石薄膜制备
关键词:纳米晶、工具涂层、金刚石涂层、热丝化学气相沉积系统、HFCVD、UNCD、NCD、掺杂
超纳米晶、金刚石刀具、MEMS、光学窗口、热沉片、cutting tools、微机电系统、B-doping
热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapor Deposition System namely HFCVD)方法常常应用于工具表面的金刚石涂层、热沉金刚石片及自支撑超纳米晶金刚石薄膜的合成;其应用于机械工具、微机电系统(MEMS),光学窗口等。
我们提供热丝化学气相沉积系统(HFCVD system),适合于:
1. 合成各种厚度和大面积的超纳米晶(ultra-nanocrystalline diamond coating/film/wafer;UNCD)、纳米晶(nanocrystalline diamond coating/film/wafer;NCD)、微米晶(microcrystalline diamond coating/film/wafer;MCD)金刚石;有效沉积面积可以达到0.5m2;
2. 可以在不同工具形状表面沉积,例如沉积3D diamond coatings 或者diamond dome;
3. 也可以用于掺杂研究(例如B-doping ),或多层膜结构研究及生产;
4. 应用于各种领域,例如cutting tools,metrology,thermal management等。
我们将根据您的需求,提供您应用的配置;购买我们的设备,我们也将提供工艺服务;如果您对我们的设备感兴趣,请联系我们!
您感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
自动打包机〈纸箱打包机\木箱打包机\塑箱打包机/电动打包机〈〈济南迅捷
SD-101 面议爆款vocs实时在线监测系统,城市环境专用监控设备,厂家推荐金叶仪器
SLFW-YC01 面议商铺:https://www.ybzhan.cn/st52014/
主营产品:磁控溅射仪,电子束蒸发镀膜仪,离子减薄仪,微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD),化学束外延系统,电磁场场分布测试仪,等离子处理,刻蚀机,光学软件与材料(金刚石),HFCVD,BSDF/BRED测量仪,电磁场仿真软件
仪表网 设计制作,未经允许翻录必究 .
请输入账号
请输入密码
请输验证码
请输入你感兴趣的产品
请简单描述您的需求
请选择省份