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Joule Yacht 薄膜热电参数测试系统 MRS-热分析系统

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产品型号

品       牌

厂商性质生产商

所  在  地武汉市

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更新时间:2018-10-18 10:54:06浏览次数:577次

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产地 国产 加工定制
Joule Yacht 薄膜热电参数测试系统 MRS无损检测薄膜材料Seebeck系数和电阻率,测温范围100K~700K

Joule Yacht 薄膜热电参数测试系统 MRS 产品特点

专门针对薄膜材料的Seebeck系数和电阻率测量。

测试环境温度范围达到81K~700K。

采用动态法测量Seebeck系数,避免了静态测量在温差测量上的系统误差,测量更准确。

采用四线法测量电阻率。

热电偶探针经过严格的筛选配对保证测试结果的准确和稳定。

软件操作简单,智能化可实现全自动模式。

 

Joule Yacht 薄膜热电参数测试系统 MRS 技术参数

型号

MRS-3

MRS-3RT

环境温度

81K~700K

RT

温控方式

PID程序控制

\

真空度

≤ 1Pa

\

测试气氛

真空

 空气

测量范围

贝克系数:S ≥ 8µV/K; 电阻率:0.1µΩ•m ~ 1000KµΩ•m

分辨率

贝克系数:0.05µV/K; 电阻率:0.05µΩ•m

相对误差

贝克系数 ≤ 7%,电阻率 ≤ 5%

测量模式

自动

样品尺寸

长 x 宽:(10~18)x(4~14)mm2,薄膜厚度≥50nm

主机尺寸

采集箱:470x400x140,单位mm
变温装置:直径x高 460x800mm

170x250x220,单位mm

重量

31.9kg

3.5kg

 

 

薄膜热电参数测试系统样品要求

样品满足上述样品尺寸,待测面需平整,薄膜均匀性好,保证与铜片接触良好

薄膜材料厚度低可至100nm,其均匀性有较高要求,薄膜厚度达到微米级别较好

薄膜材料的衬底需选择电阻率较大或绝缘材料为宜,如玻璃、Si等材料

 

薄膜热电参数测试系统技术原理

  动态法:测量Seebeck系数

  在待测温场下给样品两端加一个连续变化的微小温差,通过记录样品两端温差和热电势的变化,然后将温差和热电势拟合成一条直线,直线斜率即为该材料在该温场下的Seebeck系数。

  采用四线法测量电阻率。

 

 

薄膜热电参数测试系统测试实例

 

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