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高低温真空探针台可进行真空环境下的高低温测试(4.2K~500K),可升级加载磁场,低温防辐射屏设计,样品台采用高纯度无氧铜制作,温度均匀性更好,温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置,支持光纤光谱特性测试,兼容高倍率金相显微镜,可微调移动,器件的高频特性(支持*高67GHz频率),探针热沉设计,LD/LED/PD的光强/波长测试,自动流量控制,材料/器件......
可进行真空环境下的高低温测试(4.2K~500K),可升级加载磁场,低温防辐射屏设计,样品台采用高纯度无氧铜制作,温度均匀性更好,温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置,支持光纤光谱特性测试,兼容高倍率金相显微镜,可微调移动,器件的高频特性(支持*高67GHz频率),探针热沉设计,LD/LED/PD的光强/波长测试,自动流量控制,材料/器件的IV/CV特性测试等。
高低温真空探针台
高低温真空探针台技术指标
高低温真空探针台选型注意事项:
※*大需要测几inch的晶圆或者器件!是否需要测试破片或者单颗芯片!*小的单颗芯片尺寸!
※探针台机械精度要求多高!
※点测样品的电极尺寸!100μm *100μm或60μm *60μm的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路!
※*多需要几个探针同时去点测!
※是否会用到探针卡测试!
※光学显微镜的*小分辨率需要用到多少!
※显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测!
※探针点测时,对电流的要是否达到100fa或者以下!低
电容要是否要做到0.1pf!是否有射频需求!
※接驳的测试仪器接口有哪些!
※测试环境时是否会需要加热或者降温! 是否需要密闭腔体!
※对chuck的漏电要求怎样!是否需要添加低阻抗chuck!
※是否需要防震桌!
※若添置防震桌,是否有压缩空气!
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