北京锦正茂科技有限公司
该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用,可以提高磁场的高稳定性。
概况:
锦正茂JZM-D30室温探针台的诸多设计都是专用的,探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如,要求的磁场型号,电源型号,磁场值,样品台的尺寸等,除此之外,该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用,可以提高磁场的高稳定性。因此,该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。
⑧X轴位移±15mm,精度优于10微米
⑨Z轴行程10mm,精度优于20微米
⑩R轴旋转:360度粗调,±5°范围内精调,精调精度10'
⑪显微镜:体视显微镜,变倍范围优于10-150倍。
⑫机械加工精度优于10微米。
※*大需要测几inch的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片,*小的单颗芯片尺寸?
※探针台机械精度要求多高?
※点测样品的电极尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路?
※*多需要几个探针同时去点测?
※是否会用到探针卡测试?
※光学显微镜的*小分辨率需要用到多少?
※显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?
※探针点测时,对电流的要**否达到100fa或者以下?低电容要**否要做到0.1pf?是否有射频需求?
※接驳的测试仪器接口有哪些?
※测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体?
※对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?
※是否需要防震桌?
※若添置防震桌,是否有压缩空气?
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