北京锦正茂科技有限公司
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应用于高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。
锦正茂高低温真空探针台可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持频率上达67GHz)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。
应用范围：
锦正茂高低温真空探针台应用于高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。
※*大需要测几inch的晶圆或者器件？是否需要测试破片或者单颗芯片，*小的单颗芯片尺寸？
※探针台机械精度要求多高？
※点测样品的电极尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路？
※*多需要几个探针同时去点测？
※是否会用到探针卡测试？
※光学显微镜的*小分辨率需要用到多少？
※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？
※探针点测时，对电流的要**否达到100fa或者以下？低电容要**否要做到0.1pf？是否有射频需求？
※接驳的测试仪器接口有哪些？
※测试环境时是否会需要加热或者降温？ 是否需要密闭腔体？
※对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？
※是否需要防震桌？
※若添置防震桌，是否有压缩空气？
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