成都莱峰科技有限公司
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对不含水分的洁净气体流量进行测量和控制
功能 | 流量计/控制器 | |
基本型号 | LF400-S | |
满量程流量范围(N2) | SCCM | 0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
| SLM | 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 |
精度(％F.S) | ±1(≤15SLM) | |
| ±1.5(＞15SLM.) | |
控制阀动作型式 | 常闭式 | |
线性(％F.S.) | ±0.5～1(≤15SLM) | |
| ±1.5％(＞15SLM.) | |
重复精度(％F.S.) | ±0.2 | |
响应时间(sec) | ≤1 | |
流量输出信号 | 0-+5.00V | |
流量设定信号 | 0-+5.00V | |
电器接头 | DB15 pin(接头) | |
工作环境温度 | (℃) | 5～45 |
工作压差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
zui大耐压 | 3MPa | |
介质接触材质 | 304，316，316L | |
密封材料 | 氟橡胶，硅橡胶，聚四氟乙烯 | |
接头 | VCR " 1/4、1/2 | |
| Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | |
接头和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | |
电源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
重量 | 1.0KG | |
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