郑州成越科学仪器有限公司
产地 | 国产 | 加工定制 | 是 |
---|
小型二合一镀膜仪
配备了直流溅射靶和热蒸发组件,不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。
详情介绍:
等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件,不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化,在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能;本镀膜仪采用高纯石英腔体作真空腔体,镀膜过程*可见。仪器标配双极旋片真空泵,能够快速达到1.0E-1Pa的真空度,可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本仪器体积小,节省空间,能够置于试验台上使用,一机多用,性价比突出,非常适合各大高校及研究机构选用。
小型二合一镀膜仪适用范围:
扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作,以及非导体材料试验电极的制作等。
小型二合一镀膜仪技术参数:
| ||||
样品台 | 尺寸 | φ80mm | 至蒸发源间距 | 20mm~50mm可调 |
直流溅射头 | 数量 | 2”×1 |
|
|
蒸发系统 | 蒸发源 | 钨丝篮 | *高温度 | 1700℃ |
热电偶 | S型热电偶 |
|
| |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm×150mm | 观察窗口 | 全向透明 |
腔体材料 | 高纯石英 | 开启方式 | 顶盖拆卸式 | |
真空系统 | 机械泵 | 旋片泵 | 抽气接口 | KF16 |
真空测量 | 电阻规 | 排气接口 | KF16 | |
极限真空 | 1.0E-1Pa | 供电电源 | AC;220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 旋片泵:1.1L/S | |||
溅射电源配置 | 数量 | 直流电源×1 | *大输出功率 | 150w |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 整机尺寸 | 360mm×300mm×470mm |
整机功率 | 1.5kw | 整机重量 | 20kg |
您感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
SYDC-100型浸渍提拉镀膜机 垂直提拉机 提拉涂膜机(DipCoater)
SYDC-100 面议仪表网 设计制作,未经允许翻录必究 .
请输入账号
请输入密码
请输验证码
请输入你感兴趣的产品
请简单描述您的需求
请选择省份