简单介绍：
近距离蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。采用两组卤素加热器(顶部和底部)，zui大加热速率20ºC/s。两个30段精密温度控制器内置，精度为+/-1ºC。包括RS485端口和控制软件，允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。
详情介绍：
近距离蒸发镀膜炉产品特点：
1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷装置上。
2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（Φ76mm×0.5mm），使得样品基片上的温度更加均匀。
3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料。
4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr，通过分子泵真空度可达10-5torr。
5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。
6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以准确测量腔内真空度。
技术规格：
炉体结构和真空室 | • 双加热器，两个温度控制器，双通道气体流量计集成在移动铝合金框架中 • 腔室由高纯度熔融石英管制成 • 石英管尺寸：11”OD / 10.8”ID×9”H • 真空法兰由316不锈钢制成 • 外形尺寸：850（长）×745（宽）×1615（高）mm |
真空法兰 | • 带有一个KFD-25真空端口和两个气体出口（需要1/4"管）的顶部法兰可以手动上下滑动，轻松装卸基板和蒸发材料 • 底部法兰有一个KFD-25真空口，带两个进气口（需要1/4"管）和针阀 • 法兰由双硅胶O形圈密封，可通过机械泵实现10E-2 Torr的真空压力，通过分子泵实现10E-5 Torr（不包括真空泵，请单独订购） • 精密防腐数字真空计是标准包装 |
气体流量计 | 控制面板上安装了两个浮子表，测量范围为： • 16-160 mL / m • 400 - 4000 mL / m（用于清洗目的） |
