北京燕京电子有限公司
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针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数
基本功能 | 1，针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数 2，实现薄膜均匀性检测 |
产品特点 | l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库； l 简便、易行的可视化测试界面，可根据用户需求设置不同的参数； l 实现微小区域薄膜分析研究； l 快捷、准确、稳定的参数测试； l 支持多功能配件集成以及定制； l 支持不同水平的用户控制模式； l 支持多功能模拟计算等等。 |
系统配置 | 型号：MSP100RTM 探测器：2048像素的CCD阵列 光源：高功率的深紫外－可见光光源 光传送方式：光纤 自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，能够在5"×3"的距离上移动，并且有着1μm的分辨率，程序有效控制 物镜：4×，10×，15×(DUV)，50× 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连 测量类型：反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数 计算机硬件：英特儿酷睿2双核处理器，19"LCD显示器 电源：110–240V AC/50-60Hz，3A 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面设置) 重量：120磅总重 保修：一年的整机及零备件保修 |
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波长分辨率: 1nm 光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x) 基片尺寸：zui多可至20mm厚 测量厚度范围: 20? 到25 μm 测量时间：zui快2毫秒 精确度*：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较） 重复性误差*：小于2 ? |
可选配件项 | l 波长可扩展到远深紫外光或者近红外光范围 l 可根据客户的特殊需求来定制 l 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冷 l 可选择的平台尺寸zui多可测量300mm大小尺寸的样品 l 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm l 各种滤光片可供各种特殊的需求 l 可添加应用于荧光测量的附件 l 可添加用于拉曼应用的附件 l 可添加用于偏光应用的附件 |
应用领域 | 主要应用于透光薄膜分析类领域： l 玻璃镀膜领域（LowE、太阳能…） l 半导体制造（PR，Oxide, Nitride…) l 液晶显示（ITO，PR，Cell gap...） l 医学，生物薄膜及材料领域等 l 油墨，矿物学，颜料，调色剂等 l 医药，中间设备 l 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. l 半导体化合物 l 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 l 非晶体，纳米材料和结晶硅 |
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