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衍射仪薄膜测量附件由多层膜反射镜和三维薄膜样品架组成，实现对大于20nm薄膜样品测量。可实现对薄膜样品进行薄膜反射分析XRR(针对多晶、单晶多层薄膜厚度、密度、粗糙度进行精确分析）、薄膜掠入射分析GIXRD(精确分析多层膜中材料的组成、次序、取向等)。
三维薄膜样品架
四维薄膜样品架与测角仪安装设有定位装置，激光测距定位衍射面，安装、拆卸方便，即插即用，无需调整光路。可测量样品尺寸：φ70×10mm（或按用户要求设计可以测量样品尺寸）、样品升降精度（Z）轴：1μm。
| 范 围 | 参 数 | |
| PSI角 | 转动范围0-70° | 转动精度0.1° |
| CHI角 | 转动范围±5° | 转动精度0.05° |
| Z轴 | 距离0～15mm | 精度0.001mm |
平行光源由多层膜反射镜（Göbel Mirror）和腔体及腔体调整机构组成，安装机构与衍射仪前索拉狭缝体实行互换，平行光源在出厂前已经调整好了，操作人员不需要调整。
Göbel Mirror镜平行光发散度小于0.028°，反射效率大于70%
薄膜样品XRR衍射谱图
摇摆测量衍射谱图
薄膜掠入射分析GIXRD测量
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